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基于丁達(dá)爾現(xiàn)象的 UIH-3D 檢測燈:半導(dǎo)體晶圓與掩膜玻璃專用

更新時(shí)間:2026-02-28      瀏覽次數(shù):20


1. 設(shè)備概述

UIH-3D 型超高亮度照明裝置(UIH Series)是株式會社 INTECS 生產(chǎn)的專業(yè)光學(xué)檢測設(shè)備。該裝置利用丁達(dá)爾現(xiàn)象(Tyndall Phenomenon),通過投射極的高亮度的光線,使微小的異物、氣泡或傷痕產(chǎn)生光散射,從而輔助用戶對半導(dǎo)體晶圓(Wafer)及光掩模玻璃(Mask Glass)等精密光學(xué)材料進(jìn)行目視檢查。

2. 核心技術(shù)參數(shù)

UIH-3D 型號作為該系列的高功率版本,其具體技術(shù)規(guī)格如下:

項(xiàng)目規(guī)格參數(shù)
光源規(guī)格100V 650W
設(shè)計(jì)照射范圍鏡筒前端 270mm 處,直徑 φ100mm
最的高照度照射范圍中心約 300,000 勒克斯 (Lux)
500,000 勒克斯時(shí)的照射范圍約 φ80mm
倍徑距離與照度560mm 距離下,照度約 75,000 勒克斯
調(diào)光方式SCR 控制(支持 50/60Hz 自動(dòng)切換)
冷卻與保護(hù)風(fēng)扇強(qiáng)制空冷,具備發(fā)熱監(jiān)控與冷卻保持功能
電源要求AC100V 半變壓器式 (Semi-transformer type)
外形尺寸/重量約 13kg









3. 運(yùn)行特性與安全機(jī)制

  • 亮度調(diào)節(jié):具備 10:1 以上的可變寬度,最的高亮度偏差控制在上限 10%、下限 20%。

  • 燈泡壽命:

    • 最的高亮度下壽命:75 小時(shí)以上。

    • 半亮度下壽命:1800 小時(shí)以上。

  • 安全保護(hù)功能:

    • 發(fā)熱監(jiān)控:當(dāng)燈泡室內(nèi)部溫度超過約 130℃ 時(shí),系統(tǒng)會強(qiáng)制熄燈。

    • 冷卻保持:主電源關(guān)閉后,風(fēng)扇會持續(xù)運(yùn)行,直到燈泡室溫度降至約 40℃ 以下,以保護(hù)設(shè)備。

4. 總結(jié)

UIH-3D 作為 UIH 系列的高功率型號,通過 650W 的光源輸出,能夠提供更大的照射面積(設(shè)計(jì)照射徑 φ100mm)和更長的半亮度壽命(1800小時(shí))。其配備的自動(dòng)頻率切換和完善的過熱保護(hù)機(jī)制,使其適合在對潔凈度和安全性有較高要求的半導(dǎo)體 Wafer 及 Mask Glass 生產(chǎn)環(huán)境中,進(jìn)行大范圍的表面與內(nèi)部缺陷目視檢測。

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