UIH-1H 結(jié)像型檢測燈：專用于半導(dǎo)體拋光晶圓 Haze（霧度）檢測

更新時間：2026-02-28

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本文介紹了株式會社 INTECS 開發(fā)的 UIH-1H 型超高亮度照明裝置。該設(shè)備利用丁達爾現(xiàn)象，專為精密光學(xué)檢測設(shè)計。其核心定位在于 “結(jié)像重視" （成像清晰度），區(qū)別于單純的高亮度照明設(shè)備。UIH-1H 的主要功能是專攻半導(dǎo)體拋光晶圓（Polish Wafer）的 Haze（霧度）檢測，通過獨特的光學(xué)系統(tǒng)在晶圓表面投影出3條檢查標記，使操作人員能直觀判斷表面微米級的霧狀缺陷。同時，該設(shè)備也適用于廣泛的 “半導(dǎo)體晶圓與掩膜玻璃專用" 場景，可用于檢查表面異物、傷痕及內(nèi)部氣泡。文章詳細列出了其 15V 150W 的光源規(guī)格，并強調(diào)了其特的有的3分鐘強制冷卻關(guān)機流程，以確保設(shè)備在高潔凈度工業(yè)環(huán)境下的穩(wěn)定性和 longevity。

UIH-1H 結(jié)像型檢測燈：專用于半導(dǎo)體拋光晶圓 Haze（霧度）檢測

1. 設(shè)備概述
UIH-1H 型超高亮度照明裝置（UIH Series）由株式會社 INTECS 開發(fā)。該設(shè)備利用丁達爾現(xiàn)象（Tyndall Phenomenon），通過高亮度光線照射，使微小的異物、氣泡或傷痕產(chǎn)生光散射。

與同系列的 UIH-1C 型號不同，UIH-1H 在設(shè)計上側(cè)重于成像清晰度（結(jié)像重視），而非單純的高亮度。

2. 核心用途與檢測原理

核心用途：該設(shè)備專為拋光晶圓（Polish Wafer）的 Haze（霧度/濁度）檢測而設(shè)計。
光學(xué)特性：UIH-1H 能夠在照射面上投影出 3 條特定的檢查標記。這些標記有助于操作人員清晰地觀察晶圓表面的霧狀缺陷（Haze）。
適用對象：主要針對半導(dǎo)體晶圓，同時也適用于掩膜玻璃（Mask Glass）、光學(xué)部件及鏡頭等精密部件的表面檢查。

3. 技術(shù)規(guī)格

項目	規(guī)格參數(shù)
光源規(guī)格	15V 150W 專用鹵素?zé)?/span>
設(shè)計特點	結(jié)像重視型 (Imaging Emphasis)
燈泡壽命	最高亮度下約 50 小時 / 半亮度下約 800 小時
電源要求	AC100V

4. 操作規(guī)范（重點）

結(jié)束使用流程：檢測結(jié)束后，先將燈泡開關(guān)撥回 STANDING BY 狀態(tài)。必須冷卻 3 分鐘以上，待內(nèi)部溫度下降后，再切斷電源。這是為了保護設(shè)備并確保下一次使用的穩(wěn)定性。

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UIH-1H 結(jié)像型檢測燈：專用于半導(dǎo)體拋光晶圓 Haze（霧度）檢測