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產(chǎn)品分類技術(shù)文章/ article
更新時(shí)間：2026-01-06 
瀏覽次數(shù)：167在半導(dǎo)體制造、液晶面板生產(chǎn)等精密工業(yè)領(lǐng)域，對(duì)清洗工序中使用的超純水（Ultrapure Water）溫度控制有著極的高的要求。Rexxam 公司推出的 RHDIW150A 超純水加熱單元，憑借其獨(dú)特的加熱技術(shù)和高潔凈設(shè)計(jì)，成為滿足這些嚴(yán)苛環(huán)境需求的專業(yè)解決方案。
該設(shè)備的核心在于采用了高效率石墨加熱管作為熱源。與傳統(tǒng)的鹵素加熱管相比，石墨加熱管在熱效率上具有顯著優(yōu)勢(shì)，能夠有效降低能耗，實(shí)現(xiàn)更經(jīng)濟(jì)的運(yùn)行成本。
除了節(jié)能特性外，該加熱單元還具備極的高的穩(wěn)定性。其電阻值在長(zhǎng)期使用中保持穩(wěn)定，這直接延長(zhǎng)了加熱器的使用壽命，減少了設(shè)備維護(hù)和更換的頻率。
為了確保液體的純凈度，設(shè)備還提供了高精度過濾器作為選配功能。這一設(shè)計(jì)能夠有效過濾液體中的微細(xì)粒子，防止雜質(zhì)污染，滿足高潔凈度制程的要求。
RHDIW150A 型號(hào)在設(shè)計(jì)上兼顧了大流量與高精度溫控。以下是該設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)：
液體種類：專為超純水設(shè)計(jì)。
溫度控制：設(shè)定范圍覆蓋 25℃～85℃，溫控精度極的高，可控制在設(shè)定溫度 ±1℃ 以內(nèi)。
流量與壓力：標(biāo)準(zhǔn)藥液流量為 38L/min，壓力損失控制在 0.027MPa以下，確保流體輸送的穩(wěn)定性。
加熱能力：配備 147kw 的石墨加熱管，提供強(qiáng)勁的加熱動(dòng)力。
材質(zhì)與構(gòu)造：與純水接觸的部位均采用 石英 和 氟樹脂，這兩種材質(zhì)具有優(yōu)異的耐腐蝕性和低析出特性，保證了水質(zhì)的純凈。
外形尺寸與電源：設(shè)備尺寸為 1010(W)×1260(D)×2120(H) mm，重量為 520kg。電源支持三相 AC220V～480V ±10%。
憑借其精密的溫控能力和高潔凈特性，Rexxam RHDIW150A 超純水加熱單元主要應(yīng)用于以下高的端制造工序：
半導(dǎo)體清洗工序：在芯片制造過程中，對(duì)晶圓進(jìn)行高潔凈度的清洗。
液晶清洗工序：用于液晶面板生產(chǎn)中的清洗環(huán)節(jié)。
藥液稀釋加熱：適用于需要精確溫度控制的藥液處理過程。
Rexxam RHDIW150A 超純水加熱單元通過采用石墨加熱技術(shù)，在提升熱效率和延長(zhǎng)設(shè)備壽命方面表現(xiàn)出色。其 ±1℃ 的溫控精度和選配的高精度過濾系統(tǒng)，使其成為半導(dǎo)體、液晶等尖的端產(chǎn)業(yè)中不可的或缺的溫控設(shè)備，能夠有效保障生產(chǎn)工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的良率。
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