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日本LINTEC汽化器型號及介紹

更新時間:2025-08-02      瀏覽次數(shù):148

日本LINTEC(琳得科)汽化器 的典型型號及技術(shù)介紹,適用于半導(dǎo)體、電子封裝等領(lǐng)域的精密涂布工藝:


1. 核心型號及特點

(1) 標準型汽化器

型號:VEC-2000

  • 用途:液態(tài)材料(光刻膠、溶劑)的汽化沉積

  • 技術(shù)參數(shù)

    • 汽化溫度范圍:50~300℃(±0.5℃控溫)

    • 最大流量:2000cc/min

    • 適用材料粘度:1-1000cP

  • 優(yōu)勢
    ? 均勻汽化,膜厚偏差<±3%
    ? 模塊化設(shè)計,支持快速換料

(2) 高精度型

型號:VEC-3000P

  • 用途:半導(dǎo)體晶圓級封裝(如PI膠、SiO?前驅(qū)體)

  • 技術(shù)參數(shù)

    • 汽化精度:±0.1mg/min

    • 支持惰性氣體保護(N?/Ar)

    • 集成式過濾器(防顆粒污染)

  • 優(yōu)勢
    ? 適用于高純度工藝(Class 100潔凈環(huán)境)
    ? 符合SEMI標準


2. 行業(yè)應(yīng)用

領(lǐng)域應(yīng)用案例適配型號
半導(dǎo)體封裝晶圓凸點封裝(Underfill)VEC-3000P
顯示面板OLED薄膜封裝VEC-2000
光伏太陽能電池鈍化層沉積VEC-2000

3. 技術(shù)優(yōu)勢

  • 無氣泡汽化:專的利渦流加熱技術(shù),避免材料分解

  • 智能控制:觸摸屏設(shè)定參數(shù),自動記錄工藝數(shù)據(jù)

  • 安全設(shè)計:過溫/過壓保護,通過CE/JIS認證


4. 選型建議

  • 基礎(chǔ)工藝:VEC-2000(性價比高)

  • 高純環(huán)境:VEC-3000P(超低顆粒釋放)

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